EX10 XeCl准分子激光器参数
混合气体 / Gas Mixture: : XeCl
波长 / Wavelength: : 308 nm
脉冲能源 / Pulse Energy: : 8mJ
平均功率 / Average Power: : 2.4W
Max大重复率 / Max Repetition Rate: : 300Hz
脉宽 / Pulse Duration: : 8ns
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